Union光學(xué)EMA-400臺(tái)式面罩對(duì)準(zhǔn)器打印機(jī)

簡(jiǎn)要描述：Union光學(xué)EMA-400臺(tái)式面罩對(duì)準(zhǔn)器打印機(jī)
EMA-400 臺(tái)式面罩對(duì)準(zhǔn)器緊湊、高性能、低成本的桌面曝光系統(tǒng)，非常適合研發(fā)。該產(chǎn)品是一款節(jié)省空間、易于操作、高性能、低成本的掩模對(duì)準(zhǔn)器，非常適合大學(xué)和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室使用。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2023-02-28
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Union光學(xué)EMA-400臺(tái)式面罩對(duì)準(zhǔn)器打印機(jī)

EMA-400 臺(tái)式面罩對(duì)準(zhǔn)器緊湊、高性能、低成本的桌面曝光系統(tǒng)，非常適合研發(fā)。該產(chǎn)品是一款節(jié)省空間、易于操作、高性能、低成本的掩模對(duì)準(zhǔn)器，非常適合大學(xué)和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室使用。該產(chǎn)品在同類(lèi)產(chǎn)品中采用雙物鏡顯微鏡和積分鏡頭（照明系統(tǒng)），可實(shí)現(xiàn)高精度對(duì)準(zhǔn)和打印。

面罩尺寸	5 英寸
晶圓尺寸	φ4英寸
曝光照明	250W超高壓汞燈
	光學(xué)系統(tǒng) 積分器透鏡系統(tǒng)
	照度不均度±5%以下
	照度 20mW/cm2 (405nm)
	有效曝光范圍 φ100mm
	曝光：由數(shù)字定時(shí)器驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)螺線管
曝光模式	軟接觸，硬接觸
解決	2 μm（用于硬接觸）
對(duì)齊范圍	雙物鏡顯微鏡
	10x 物鏡 x 2 (NA0.15 WD30mm)
	物距 15 至 75mm
	目鏡 NWF10×（視場(chǎng)數(shù) 18）
	整體放大倍數(shù) 100x
晶圓臺(tái)	XY平臺(tái)行程±5mm
	θ旋轉(zhuǎn)行程±5°
	Z軸行程 0～4mm
對(duì)齊方式	通過(guò)移動(dòng)晶圓臺(tái)手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
對(duì)準(zhǔn)精度	±3μm
安裝尺寸	735(W)×490(D)×605(H)mm
安裝重量	約90公斤
公用事業(yè)	電源 AC100V 15A 50/60Hz
	真空度（壓力）21.3kPa（大氣壓-80kPa）
	N2氣體或干燥空氣（壓力）0.2MPa以上