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Union光學(xué)EMA-400臺式面罩對準(zhǔn)器打印機

簡要描述:Union光學(xué)EMA-400臺式面罩對準(zhǔn)器打印機
EMA-400 臺式面罩對準(zhǔn)器緊湊、高性能、低成本的桌面曝光系統(tǒng),非常適合研發(fā)。該產(chǎn)品是一款節(jié)省空間、易于操作、高性能、低成本的掩模對準(zhǔn)器,非常適合大學(xué)和企業(yè)實驗室使用。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2023-02-28
  • 訪  問  量:614
詳情介紹

Union光學(xué)EMA-400臺式面罩對準(zhǔn)器打印機

Union光學(xué)EMA-400臺式面罩對準(zhǔn)器打印機

EMA-400 臺式面罩對準(zhǔn)器緊湊、高性能、低成本的桌面曝光系統(tǒng),非常適合研發(fā)。該產(chǎn)品是一款節(jié)省空間、易于操作、高性能、低成本的掩模對準(zhǔn)器,非常適合大學(xué)和企業(yè)實驗室使用。該產(chǎn)品在同類產(chǎn)品中采用雙物鏡顯微鏡和積分鏡頭(照明系統(tǒng)),可實現(xiàn)高精度對準(zhǔn)和打印。


面罩尺寸

 5 英寸

晶圓尺寸

φ4英寸

曝光照明

250W超高壓汞燈

光學(xué)系統(tǒng) 積分器透鏡系統(tǒng)

照度不均度±5%以下

照度 20mW/cm2 (405nm)

有效曝光范圍 φ100mm

曝光:由數(shù)字定時器驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)螺線管

曝光模式

軟接觸,硬接觸

解決

2 μm(用于硬接觸)

對齊范圍

雙物鏡顯微鏡

10x 物鏡 x 2 (NA0.15 WD30mm)

物距 15 至 75mm

目鏡 NWF10×(視場數(shù) 18)

整體放大倍數(shù) 100x

晶圓臺

XY平臺行程±5mm

θ旋轉(zhuǎn)行程±5°

Z軸行程 0~4mm

對齊方式

通過移動晶圓臺手動對準(zhǔn)

對準(zhǔn)精度

±3μm

安裝尺寸

735(W)×490(D)×605(H)mm

安裝重量

約90公斤

公用事業(yè)

電源 AC100V 15A 50/60Hz

真空度(壓力)21.3kPa(大氣壓-80kPa)

N2氣體或干燥空氣(壓力)0.2MPa以上





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