管狀爐式高溫?zé)酑VD裝置SFCV-1001佐藤真空

管狀爐式高溫?zé)酑VD裝置SFCV-1001佐藤真空

真空蒸鍍裝置

本系列產(chǎn)品是用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)的電阻加熱式小型蒸鍍設(shè)備。另外，本系列的一部分機(jī)種也可以搭載電子束(EB)。

HSV-3-30G，HSV-8-50，HSV-12-80

是一種管狀爐式高溫?zé)酑VD裝置，適用于大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)開發(fā)石墨烯等碳?xì)浠衔锏母鞣N材料。小批量、小尺寸的測試件可以簡單操作，實(shí)現(xiàn)了小型化，同時大幅降低了成本。

另外，具有以往小型產(chǎn)品難以實(shí)現(xiàn)的5 ~ 100pa壓力控制功能，可支持更多樣的處理模式。針對碳?xì)浠衔镱惪扇夹詺怏w，配備了檢測報警停止機(jī)器運(yùn)行、大氣排放氣體稀釋單元等安全裝置。

SFCV-1001，SFCV-1003，SFCV-1501

研究開發(fā)用卷爐是適合于研究開發(fā)，小批量生產(chǎn)的小型高性能卷模機(jī)。有等離子處理、濺射及蒸鍍單元。

高真空排氣裝置

本系統(tǒng)有渦輪分子泵和油擴(kuò)散泵兩種類型，還準(zhǔn)備了油旋轉(zhuǎn)和干泵作為輔助泵，是一種能夠根據(jù)客戶的需求進(jìn)行選擇高真空排氣系統(tǒng)。

TPS-50ZA,TPS-50ZB,TS-50ZC,TPS-220ZA,TPA-220ZB,TPS-220ZC,DPS-2-ZA,DPS-2-ZB,DPS-3-ZA,DPS-3-ZB,DPS-4-ZA,DPS-4-ZB