SEMILAB薄膜厚度和電阻率測(cè)量裝置WMT
簡(jiǎn)要描述:SEMILAB薄膜厚度和電阻率測(cè)量裝置WMT
光致發(fā)光PLl-101/A, PLI-103/A,壽命測(cè)量裝置WML,WLL,薄膜厚度和電阻率測(cè)量裝置WMT,WLT,晶體形狀測(cè)量裝置TTR-300,發(fā)射極片電阻測(cè)量裝置CMS,CLS,激光橢圓儀SE-100IL,LE-100IL
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 廠商性質(zhì):代理商
- 更新時(shí)間:2023-03-27
- 訪 問 量:963
SEMILAB薄膜厚度和電阻率測(cè)量裝置WMT
SEMILAB薄膜厚度和電阻率測(cè)量裝置WMT
光致發(fā)光PLl-101/A, PLI-103/A,壽命測(cè)量裝置WML,WLL,薄膜厚度和電阻率測(cè)量裝置WMT,WLT,晶體形狀測(cè)量裝置TTR-300,發(fā)射極片電阻測(cè)量裝置CMS,CLS,激光橢圓儀SE-100IL,LE-100IL
產(chǎn)品介紹
用于晶體和電池檢測(cè)的光致發(fā)光設(shè)備快速可靠的在線光致發(fā)光設(shè)備,用于在從切割晶體到成品電池的所有加工階段對(duì)晶體和電池質(zhì)量進(jìn)行無(wú)損測(cè)量??梢钥刂普麄€(gè)制造階段的材料質(zhì)量。高質(zhì)量的晶體可生產(chǎn)出高效的電池,從而降低制造成本。
對(duì)厚度、TTV 和電阻率進(jìn)行高速、非接觸式評(píng)估。厚度和電阻率是光伏應(yīng)用中硅片的關(guān)鍵質(zhì)量控制參數(shù)。WLT 型號(hào)(WLT-1、WLT-3、WLT-5)在線薄膜厚度和電阻率測(cè)量系統(tǒng)提供 1-5 點(diǎn)厚度和 1 點(diǎn)電阻率,用于全自動(dòng)晶圓生產(chǎn)線的在線質(zhì)量控制滿足要求的高吞吐量。WMT 型號(hào)(WMT-1、WMT-3)薄膜厚度和電阻率測(cè)量系統(tǒng)允許在不停止傳送帶的情況下進(jìn)行晶體測(cè)量(“動(dòng)態(tài)"測(cè)量)。
兩側(cè)的厚度、電阻率和鋸痕都可以用這個(gè)太陽(yáng)能硅片輪廓測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量。
發(fā)射極擴(kuò)散后,發(fā)射極薄層電阻是 PV 應(yīng)用中硅晶片的關(guān)鍵質(zhì)量控制參數(shù)。
CLS 型號(hào)(CLS-1A、CLS-3A、CLS-5A)的發(fā)射極薄層電阻測(cè)量系統(tǒng)以高吞吐量測(cè)量 1 到 5 個(gè)點(diǎn)的薄層電阻,以滿足全自動(dòng)電池生產(chǎn)線中在線質(zhì)量控制的要求。
CMS 型號(hào)(CMS-1A、CMS-3A)的發(fā)射極薄層電阻測(cè)量系統(tǒng)允許在不停止傳送帶的情況下測(cè)量晶圓(“On the Fly"測(cè)量)。因此,它實(shí)現(xiàn)了高通量,以滿足電池全自動(dòng)化生產(chǎn)線中在線質(zhì)量控制的要求。
LE-100IL:用于 PV 晶體涂層測(cè)量的在線激光橢圓儀