光進(jìn)電氣工業(yè)KOSHIN超聲波清洗器MegaS sp

光進(jìn)電氣工業(yè)KOSHIN超聲波清洗器MegaS sp

MegaS sp兆聲波噴嘴型,MegaS BW淹沒(méi)型,MegaS tp 兆聲換能器板,Megas 9e兆聲波霧化發(fā)生器

產(chǎn)品介紹

MegaS sp兆聲波噴嘴型：4kHz至5MHz的兆聲(超聲波振動(dòng)波)與清洗液-起從噴嘴噴出進(jìn)行清洗。

用途：半導(dǎo)體晶圓清洗、微結(jié)構(gòu)的清潔

特征

這是一種使用高頻超聲波振動(dòng)(氣泡)的清潔系統(tǒng)。

通過(guò)受控的微小空化作用清潔和去除微小顆粒。

是噴嘴型。

MegaS BW淹沒(méi)型：這是一種超聲波清洗裝置，使用400kHz至5MHz的超聲波振動(dòng)氣泡清洗附著在半導(dǎo)體晶圓等上的細(xì)小污垢。

用途：半導(dǎo)體晶園清洗、微電子霧件的清洗、微型霧件的清潔

特征

使用壓電效應(yīng)的超聲波振動(dòng)(氣泡)去除井清潔表面的細(xì)小角質(zhì)層。

它是一種浸沒(méi)在液體中的類型。

MegaS tp 兆聲換能器板：這種類型附在清洗槽的底部或側(cè)面。

用途：半導(dǎo)體晶圓清洗、微電子霧件的清洗、微型霧件的清潔

特征

使用壓電效應(yīng)的超聲波振動(dòng)甚至可以清潔微小部件。

它是一種可以安裝在水箱底部或側(cè)面的類型。

Megas 9e兆聲波霧化發(fā)生器：這是一種在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，在清洗液中產(chǎn)生高頻和受控空化作用來(lái)清洗晶圓等表面的裝置。

用途：半導(dǎo)體晶園清洗、微電子霧件的清洗、微型霧件的清潔

特征

使用壓電效應(yīng)的超聲波振動(dòng)甚至可以清潔微小部件。