研究所HRD-THERMAL熱成像顯微鏡TM3日本進(jìn)口
簡(jiǎn)要描述:研究所HRD-THERMAL熱成像顯微鏡TM3日本進(jìn)口熱成像顯微鏡TM3;用于測(cè)量薄膜和微區(qū)域的熱流率
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 廠商性質(zhì):代理商
- 更新時(shí)間:2023-04-25
- 訪(fǎng) 問(wèn) 量:815
研究所HRD-THERMAL熱成像顯微鏡TM3日本進(jìn)口
研究所HRD-THERMAL熱成像顯微鏡TM3日本進(jìn)口
熱成像顯微鏡TM3
產(chǎn)品介紹
熱成像顯微鏡TM3
用于測(cè)量薄膜和微區(qū)域的熱流率
特征
熱物理顯微鏡是一種測(cè)量熱滲流率的設(shè)備,熱滲流率是熱物性值之一。
它是一種可以在點(diǎn)、線(xiàn)和平面上測(cè)量樣品熱物理性質(zhì)的裝置。
可以測(cè)量微米量級(jí)的熱物理性質(zhì)分布,這在傳統(tǒng)的熱物理性質(zhì)測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
這是一臺(tái)能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸式高分辨率測(cè)量的設(shè)備。
檢測(cè)光斑直徑為3μm,可以高分辨率測(cè)量微小區(qū)域的熱物理性質(zhì)(點(diǎn)、線(xiàn)、面測(cè)量)。
由于可以通過(guò)改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量,因此可以測(cè)量薄膜、多層膜和塊狀材料。
也可以測(cè)量基板上的樣品。
這是一種使用激光束的非接觸式測(cè)量。
可以檢測(cè)薄膜下的裂紋、空隙和分層。
熱物理顯微鏡測(cè)量原理(概要)
在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光定期加熱。
金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的特性(熱反射法),因此通過(guò)捕捉與加熱激光同軸照射的檢測(cè)激光的反射強(qiáng)度變化來(lái)測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。去做。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位滯后。該相位延遲隨樣品的熱特性而變化。通過(guò)測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲獲得熱流率。
在試料上形成Mo薄限,用加熱用激光對(duì)表面進(jìn)行加熱,從Mo薄海傳送到試料上,試料表面的溫度響應(yīng)會(huì)產(chǎn)生相位延遲,該相位延遲會(huì)根據(jù)試料的熱特性而變化。由于Mo的反射率具有隨溫度而變化的性質(zhì),因此通過(guò)捕捉照射到與施加激光相同接觸的檢測(cè)用激光的強(qiáng)度變化,測(cè)定表面的相好溫度變化。通過(guò)這種測(cè)量方法,可以進(jìn)行高分辨率的熱浸率測(cè)量。(ServmoryFrectance法)可選位移可計(jì)算體積熱容及傳導(dǎo)率。